仪器设备

微纳制造实验室：仪器设备包括离子注入机，ICP等离子刻蚀机，光刻系统，等离子增强化学气相沉积，低压化学气相沉积，电子束蒸发，原子层沉积，快速热退火，椭圆偏振仪器，热氧化/扩散炉，手套箱，湿法/干发清洗与刻蚀系统。
超大规模集成电路工艺及纳米摩擦发电测试实验室：仪器设备包括半导体测试系统，辐射探针台在线实时测试系统，全自动芯片键合系统，半导体器件分析仪，精密手动探针台等。
能源功能材料与储能器件实验室：仪器设备包括双工位和单工位手套箱，马弗炉，镀膜系统，电化学工作站，多功能电池性能测试柜，太阳能电池制造和测试系统等。
材料分析实验室：仪器设备包括智能扫描原子力显微镜，电化学扫描隧道显微镜，扫描电子显微镜，双光源X射线晶体衍射仪，X射线粉末衍射仪，红外-可见光谱仪，拉曼光谱仪，核磁共振仪等。