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微纳制造实验室:仪器设备包括离子注入机,ICP等离子刻蚀机,光刻系统,等离子增强化学气相沉积,低压化学气相沉积,电子束蒸发,原子层沉积,快速热退火,椭圆偏振仪器,热氧化/扩散炉,手套箱,湿法/干发清洗与刻蚀系统。
超大规模集成电路工艺及纳米摩擦发电测试实验室:仪器设备包括半导体测试系统,辐射探针台在线实时测试系统,全自动芯片键合系统,半导体器件分析仪,精密手动探针台等。
能源功能材料与储能器件实验室:仪器设备包括双工位和单工位手套箱,马弗炉,镀膜系统,电化学工作站,多功能电池性能测试柜,太阳能电池制造和测试系统等。
材料分析实验室:仪器设备包括智能扫描原子力显微镜,电化学扫描隧道显微镜,扫描电子显微镜,双光源X射线晶体衍射仪,X射线粉末衍射仪,红外-可见光谱仪,拉曼光谱仪,核磁共振仪等。
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